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镍铂(NiPt)合金靶材 ¥1200.00


高纯3N5(99.95%)镍铂合金靶材,价格以当日报价为准,需联系销售报价!!!


元素 : NiPt     

纯度 : 3N      3N5     

形状 : 平面靶材     

规格 : 1Kg     

包装 : 三层真空包装或充氩气保护,符合IATA、DOT包装规范     

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商品详情


市场参考价格:¥1200.00/Kg左右,价格仅供参考,如有需要,请咨询报价,以当日报价为准!

镍铂合金靶材是一种银灰色金属靶材,熔点1400-1650°C;密度18.63克/厘米3;电阻率 29.8 µΩ·cm(20°C)。如需更多详情,欢迎电话咨询获得更多优惠!  


 镍铂合金靶材

镍铂合金靶材制备方法

用镍和铂作为原料。原料在坩埚中进行高温熔炼成镍铂合金锭;采用真空电子束将镍铂合金锭熔炼成高纯镍铂合金锭;对高纯镍铂合金锭进行径向热锻和退火处理;对高纯镍铂合金锭进行纵向墩粗和退火处理;对高纯镍铂合金锭进行热轧,冷轧和再结晶退火处理,形成镍铂合金靶坯;对镍铂合金靶坯进行机械加工,形成镍铂合金靶材。通过高温熔炼,真空电子束熔炼,径向热锻和退火处理,纵向墩粗和退火处理,热轧冷轧和再结晶退火处理等步骤,获得了成分均匀,纯度高,晶粒细小,氧含量低的镍铂合金靶材。这样的靶材利于获得厚度均匀,颗粒少的高质量的薄膜.


镍铂合金靶材应用领域

镍铂合金靶材广泛应用于半导体工业。通过磁控溅射,镍铂合金靶材在硅器件表面沉积并反应生成镍铂硅化物薄膜,实现半导体接触及互连。