镍硅合金靶材(NiSi)是一种以镍和硅为主要成分的高温合金靶材 ,它兼具镍的导电、导热性能和硅的半导体特性,因此既被视为“高温合金”,也被用作功能薄膜的溅射源 。
2025-11-15
镍锆合金靶材是一种由金属镍和金属锆按一定原子或重量比例熔炼、加工而成的溅射靶材。具有良好的热稳定性,能在较高温度下保持结构稳定。广泛用于半导体、显示技术、装饰镀膜和工业涂层等领域。
2025-11-14
镍锰合金靶材(最常见的是镍锰比例为50:50 at.%,即NiMn合金)是制备磁性多层膜、自旋电子学器件等功能薄膜的关键原材料。其制备过程要求高纯度、高致密度、成分均匀且结构完整。
2025-10-31
镍铌合金靶材是以镍和铌为主要元素,按一定比例熔炼制成的溅射靶材,其高温性能稳定,优异的耐腐蚀性和抗氧化性,广泛用于物理气相沉积(PVD)工艺,特别是磁控溅射,以在各类基板上制备功能薄膜。
2025-10-25