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钛铝(TiAl)合金靶材 ¥650.00


高纯2N8(99.8%) 钴铬钨合金靶材,价格以当日报价为准,需联系销售报价!!!


元素 : TiAl     

纯度 : 2N8     

形状 : 平面靶材     

规格 : 1Kg     

包装 : 三层真空包装或充氩气保护,符合IATA、DOT包装规范     

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所有订单均提供正式发票,另外依据客户需要提供正式报价单和合同

商品详情

市场参考价格:¥750.00/Kg左右,价格仅供参考,如有需要,请咨询报价,以当日报价为准!

产品名称:钛铝合金(TiAl)靶材

纯度:99.9%, 99.99%

尺寸: 50*3mm, 75*6mm, 101*6mm


钛铝合金靶材采用热等静压技术生产,硬度好、亮度高、耐腐蚀、抗氧化的颜色,长时间不变色。 广泛用于工具涂层,装饰涂层,各种磁控溅射机和离子镀机。终可以在 PVD 过程中获得恒定的侵蚀率以及高纯度和均匀的薄膜涂层。


钛铝合金靶材



钛铝靶可以做出什么颜色

钛铝靶可以制作的颜色包括银色、金色、玫瑰金、黑色、枪灰色、仿金色、咖啡色、蓝色、紫色等。

不同颜色对应的铝含量和制备方法如下:

  1. 银色:通过调整铝的含量和制备工艺,可以得到银色的钛铝靶。‌
  2. 金色:通过调整铝的含量和制备工艺,可以得到金色的钛铝靶。
  3. 玫瑰金:玫瑰金颜色的制备需要调整铝的含量和制备工艺,通常需要预镀较长时间才能达到理想效果。‌
  4. 黑色:通过调整铝的含量和制备工艺,可以得到黑色的钛铝靶。‌
  5. 枪灰色:通过调整铝的含量和制备工艺,可以得到枪灰色的钛铝靶。‌
  6. 仿金色:通过调整铝的含量和制备工艺,可以得到仿金色的钛铝靶。
  7. 咖啡色:通过调整铝的含量和制备工艺,可以得到咖啡色的钛铝靶。
  8. 蓝色:通过调整铝的含量和制备工艺,可以得到蓝色的钛铝靶。
  9. 紫色:通过调整铝的含量和制备工艺,可以得到紫色的钛铝靶。


下图是我们的铝钛(30/70 at%)溅射靶材的两张显微照片,平均晶粒尺寸<100μm。

钛铝合金靶材金相图


我们生产的钛铝合金溅射靶材具有高纯度,重要的优点是您的薄膜具有出色的导电性,并且在PVD过程中可以大限度地减少颗粒形成。下表是2N8高纯度钛铝 (30/70 原子%)溅射靶的典型分析证明。

分析方法:1。使用ICP-OES分析金属元素。2.使用LECO分析气体元素。

钛铝合金靶材成分分析


钛铝合金靶材的应用

  • 半导体制造:在半导体芯片的制造过程中,钛铝合金靶材可用于薄膜沉积,形成导电层、阻挡层或金属互连层等。例如,作为金属互连层可以实现芯片内部不同电路元件之间的电连接,并且具有良好的导电性和稳定性,能够满足半导体制造对材料的高精度和高可靠性要求 。
  • 平板显示器:平板显示器中的薄膜晶体管(TFT)、电极等部件也会用到钛铝合金靶材镀膜技术。通过精确控制镀膜的厚度和成分,可以提高显示器的分辨率、色彩饱和度和响应速度,同时降低功耗。
  • 刀具模具领域:刀具和模具在加工过程中
  • 需要承受较大的摩擦力和冲击力,对材料的硬度、耐磨性和韧性要求很高。钛铝合金靶材通过溅射镀膜在刀具和模具表面形成一层坚硬、耐磨的涂层,可以显著提高其使用寿命。比如在切削加工中,涂层刀具能够保持锋利的切削刃,提高加工效率和加工质量;在模具制造中,涂层可以减少模具与工件之间的摩擦,降低模具的磨损,提高模具的脱模性能和成型精度。
  • 耐腐蚀涂层:在一些化工、海洋等腐蚀性环境中工作的设备和部件,需要具备良好的耐腐蚀性能。钛铝合金靶材制备的涂层可以为这些设备和部件提供有效的腐蚀防护,延长其使用寿命。例如,石油化工行业的管道、阀门,海洋工程中的钻井平台、船舶部件等,使用钛铝合金涂层后能够抵御酸、碱、盐等腐蚀介质的侵蚀。
  • 耐磨涂层:对于一些频繁受到摩擦和磨损的机械部件,如轴承、齿轮、导轨等,采用钛铝合金靶材镀膜可以增加其表面硬度和耐磨性,减少磨损和能量损耗,提高设备的运行效率和可靠性。同时,在一些特殊的工况下,如高温、高压、高速等条件下,钛铝合金涂层的耐磨性能表现更为突出 。