高纯5N(99.999%) 铝铜合金靶材,价格以当日报价为准,需联系销售报价!!!
元素 : AlCu
纯度 : 4N 5N
形状 : 平面靶材
规格 : 1Kg
包装 : 三层真空包装或充氩气保护,符合IATA、DOT包装规范
所有订单均提供正式发票,另外依据客户需要提供正式报价单和合同
市场参考价格:¥600.00/Kg左右,价格仅供参考,如有需要,请咨询报价,以当日报价为准!
铝铜合金靶材是通过真空熔化技术生产的,通常用于集成电路生产中作为互连材料。与铝互连相比,高纯度铝铜AlCu(0.5-4%)互连具有更均匀的内部微观结构,可以有效改善互连的电迁移和扩散到晶片的过程。凭借5N的高纯度,均匀的晶粒尺寸,较低的氧含量,终用户可以在PVD工艺过程中获得恒定的腐蚀速率以及高纯度和均匀的薄膜涂层。如需更多详情,欢迎电话咨询获得更多优惠!
铝铜合金靶材制备工艺流程
备料 - 精炼(三层电解工艺)- 熔化和铸造(电阻炉 - 半连续铸造)- 晶粒细化(热机械处理)- 金相检测 - 机加工 - 尺寸检测 - 清洗 - 终检 - 打标 - 包装 - 发货
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