高纯3N5（99.95%） 钼锆钛合金靶材，价格以当日报价为准，需联系销售报价！！！
元素 ： MoZrTi
纯度 ： 3N5
形状 ： 平面靶材
规格 ： 1Kg
包装 ： 三层真空包装或充氩气保护，符合IATA、DOT包装规范
所有订单均提供正式发票，另外依据客户需要提供正式报价单和合同
市场参考价格：¥1500.00/Kg左右，价格仅供参考，如有需要，请咨询报价，以当日报价为准！
产品名称：钼锆钛（TZM）合金靶材
纯度：3N
尺寸： 50.8*3mm 或者 按图纸定制
钼锆钛（TZM）合金靶材是一种由钼、锆、钛三种金属元素组成的多元合金靶材，钼通常作为主要成分，含量一般在 50% - 80% 之间，锆含量通常在 10% - 30% 范围，钛含量在 10% - 30% 左右。广泛应用于半导体芯片制造、微电子、太阳能电池、航空航天等领域。
钼锆钛（TZM）合金靶材特点与优势
高耐腐蚀性：钼和锆都具有良好的抗腐蚀性能，特别是在高温环境下，能够有效防止材料的氧化和腐蚀。
高强度和硬度：钼和钛的结合提高了材料的硬度和强度，使其在溅射过程中更加耐用。
优良的热稳定性：钼和锆的高熔点使得这种合金在高温环境下仍能保持稳定的性能。
低杂质含量：通过先进的制备工艺，可以有效控制材料中的非金属杂质含量，提高薄膜的纯净度和性能。
均匀的成分分布：采用高能球磨和热等静压等工艺，使得合金成分分布更加均匀，提高了薄膜的质量。
钼锆钛（TZM）合金靶材制备方法
钼锆钛合金靶材的制备通常包括以下几个步骤：
原料准备：按照一定的比例准备钼粉、锆粉和钛粉，确保各成分的纯度达到要求。
混合与球磨：将原料粉末混合均匀，并在保护气氛下进行高能球磨，以获得细小且均匀的合金粉末。
预处理：将球磨后的粉末进行加热预处理，以去除可能存在的杂质和应力。
成型与烧结：将预处理后的粉末通过冷等静压成型，然后在保护气氛下进行烧结，以获得致密的坯体。
热等静压处理：对烧结后的坯体进行热等静压处理，以进一步提高材料的致密度和均匀性。
机加工：对热等静压处理后的坯体进行切割、打磨等机加工，以获得所需的靶材尺寸和形状。
钼锆钛（TZM）合金靶材应用领域
钼锆钛合金靶材广泛应用于以下几个领域：
电子与半导体行业：用于制备高性能的薄膜材料，如阻挡层、导电层等。
航空航天：用于制造耐高温、耐腐蚀的零部件。
医疗器械：用于制备生物相容性好的植入物和器械表面涂层。
能源领域：用于制备高效能的电池和燃料电池电极材料。
