钒溅射靶材工艺流程及应用介绍
发布时间：2023-02-07 作者：材料类科研服务平台 阅读量：522
2、将锻造得到的钒铸锭进行退火处理，退火的温度为400-500℃，保温时间为60-120min，然后采用空冷进行冷却；
3、将退火得到的钒铸锭进行轧制，并控制每道次的下压量0.5-1mm，控制总变形量为70-80％，直至得到所需直径和厚度的钒靶坯；
4、将轧制得到的钒靶坯进行再次退火处理，再次退火的温度为450-550℃，保温时间为90-150min，再次退火之后进行水冷，得到所需高纯钒靶坯。
此制备得到的钒靶坯不仅内部结构均匀，还具有晶粒细小的优点，下图是钒溅射靶材的两种典型的显微金相检测图片，平均粒径<100um。
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