溅射用钛靶材厂家 制备工艺及应用介绍
发布时间：2023-04-25 作者：材料类科研服务平台 阅读量：154
溅射用钛靶材通过高纯度的钛材料加工制成。有着光泽的银白色外观，其熔点为1660℃， 沸点为3287℃，密度为4.5g/cm3。钛靶材具有高纯度、高密度、高强度和耐腐蚀等特点。高性能钛溅射靶材,是实现电子信息制造业关键材料的自主研制和推动钛工业向高端转型升级的重要举措。
钛溅射靶材特征
钛溅射靶材形状：平面靶 旋转靶 异型定制
钛溅射靶材纯度：2N7, 4N, 4N5, 5N
钛溅射靶材尺寸：按图纸加工或其他者定制
我们还可以提供钛丝、钛粒、钛片、钛粉等
钛溅射靶材制备工艺
选取钛原料（4N或者5N），采用真空熔炼的方法将钛原料熔融，并将熔汤浇铸，浇铸后的熔汤冷却形成铸锭坯料；
将铸锭坯料进行第一热处理，第一热处理的温度为450～650℃，保温时间0.5～2.5h，然后将保温热处理后的铸锭坯料进行热轧延或者空气锤锻打，形成第一钛坯；
对第一钛坯进行第二热处理，第二热处理的温度为350～550℃，保温时间为1～3h，然后将保温热处理后的第一钛坯进行热轧延或者空气锤锻打，形成第二钛坯；
对第二钛坯冷却到室温后，在室温的环境下对第二钛坯进行冷轧延，形成冷轧坯；
将冷轧所形成的冷轧坯做退火热处理，退火热处理温度为300～700℃，时间为1～5h，得到晶粒细小且均匀的钛靶坯，之后通过机床加工即得钛靶材。
该制备方法通过多次热处理，使得钛坯中的元素产生固态扩散，来减轻化学成分分布的不均匀性，减少靶材坯料的分层现象，缩小晶粒尺寸；同时可消除残余应力，稳定尺寸，减低硬度和脆性，增加其可塑性，减少变形与裂纹倾向。上图是钛溅射靶材典型的显微金相检测图片，平均粒径<100um。
钛溅射靶材应用
钛溅射靶材是一种重要的材料，主要用于制造半导体、光电子和磁性材料等高科技领域的材料。在半导体工业中，钛溅射靶材可用于制造电子元件的制造，例如光电二极管、光电品体管、光电接收器和发射器等。在光电子领域，钛靶材可用于制造光电子器件，例如 LED 和太阳能电池等。在磁性材料领域，钛靶材可用于制造硬盘和磁卡等。
除了以上应用，钛溅射靶材还广泛用于高温合金、导电材料、化学催化剂和医疗设备等领域，这些领域不仅需要高强度、耐腐蚀的材料，还需要稳定的化学性能和生物相容性。钛靶材正好满足这些要求，成为这些领域的重要材料之一。
钛的其它应用
钛在军工方面的应用
钛在军事工业方面有着十分广阔的用途。核动力潜艇、水翼艇、迫击炮身管、反坦克导弹、导弹发射器、坦克防护板、防弹背心等大量用钛。
钛在航天航空方面的应用
钛广泛用于航空工业，民用飞机用钛量约占构架重量的20～25%;此外战略火箭发动机、宇宙飞船(如神舟五号、神舟六号)、人造卫星天线等也大量用钛。
钛在海洋产业方面的应用
在海水中，钛具有其他金属材料无法比拟的耐蚀性能，特别是耐受海水的高速冲刷腐蚀。
在汽车工业方面的应用
钛的轻质、高强度等性能早已被汽车制造商所关注，钛在赛车上的应用已有许多年的历史，目前赛车几乎都使用了钛材。
在医学中的应用
随着医疗技术的提高，在人体内植入金属是十分常见的外科手术，由于钛金属具有与人体组织排异反应弱，目前被广泛于人工骨骼、人工关节、人造牙等人体植入物方面得到广泛的应用。此外，钛在制药机械、医疗器械方面的应用也得到进一步的认识，未来需求不可低估。
在核工业方面的应用
除上述用途外，钛是发展核工业不可缺少的重要材料，核反应堆使用的很多设备、管道和相关部件，除使用锆、铪外，还需要大量的钛和钛基合金材料。。
钛溅射靶材合金类型
除钛溅射靶材外，我们还可以提供钛铝合金、钛铌合金、铜钛合金、钨钛合金、镍钛合金、钒钛合金 、钼钛合金等溅射靶材。
感谢您阅读钛溅射靶材制备方法及应用介绍。 希望您在阅读本文后能够对钛溅射靶材有更好的理解。 如果您想了解更多关于金属靶材的信息，请收藏我们的网站鑫康新材料https://www.xk-materials.cn/。
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