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为什么使用铟将溅射靶材绑定到背板上

发布时间:2023-05-22 作者:材料类科研服务平台 阅读量:291

铟绑定溅射靶材


铟具有高导电性,使其成为从阴极组件到溅射靶材的电传递的理想选择,并且具有导热性以促进冷却。铟还具有低蒸气压,因此在真空环境中不会脱气。铟在 156 摄氏度时熔化,使其对高温应用无效。然而,由于大多数磁性增强阴极组件在磁性阵列中使用某种类型的稀土金属,因此阴极本身不应超过100摄氏度左右。这种稀土磁铁的柯里温度略高于该温度。高于柯里温度,磁体失去其磁性,使其无法在阴极组件中进一步使用。

铟并不是唯一可用于将两种不同成分粘合在一起的材料。根据不同的情况我们还可以用锡在232℃熔化。对于300℃以上的,我可以用到铅在327摄氏度。


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