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关于钽酸锂晶体衬底和晶圆用途介绍

发布时间:2024-01-04 作者:材料类科研服务平台 阅读量:633

钽酸锂晶体


钽酸锂(LiTaO3)是一种铁电晶体,因其卓越的电光特性而引起了人们的极大兴趣。它的应用范围很广,包括光波导、声学器件、频率滤波器,甚至医疗超声成像。本文探讨了钽酸锂晶体衬底和晶圆的独特性质及其各种应用。

晶体结构与性质
钽酸锂(LiTaO3)具有钙钛矿晶体结构,类似于钛酸钡和钛酸锶等其他铁电晶体。它在可见光到中红外范围内是光学透明的,并且在光学上是双折射的。它具有 610°C 的高居里温度和 30 pm/V 的大电光系数,使其成为各种电光应用的有吸引力的材料。此外,它还具有高压电系数,能够将电信号转换为机械振动,反之亦然。

钽酸锂晶体

衬  底

晶体衬底和晶圆
钽酸锂晶体基板和晶圆通常通过一种称为直拉法的工艺生产,该工艺涉及在坩埚中熔化材料,然后从熔体中缓慢拉出单个晶体。这些晶体可以使用切片、研磨和抛光等技术进一步加工成基板或晶圆。

钽酸锂衬底通常用作表面声波 (SAW) 滤波器和谐振器等设备的基础,而晶圆则用于调制器和开关等波导设备。

钽酸锂晶体衬底和晶圆应用
钽酸锂衬底和晶圆的应用范围很广。其中一种应用是声波器件,如SAW滤波器和谐振器,其中利用了LiTaO3的压电特性。这些器件广泛用于电信、雷达系统和其他无线通信应用。另一个应用是电光器件,如调制器和开关。钽酸锂由于其较大的电光系数,对于这些设备来说是一种有吸引力的材料,这使得它能够以低电压调制光信号。这些器件可用于电信、光学传感器和其他高速通信应用。

钽酸锂也用于医学超声成像。该材料的高压电系数使其能够将电信号转换为机械振动,然后用于生成人体内部器官的图像。


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