镍铝合金靶材材定义、特性、制备方法和应用
发布时间：2024-06-19 作者：材料类科研服务平台 阅读量：89
镍钒合金靶材是一种用于溅射镀膜工艺的材料，它由镍和钒合金化制成。镍钒合金靶材因其无磁性特性，特别适合于磁控溅射技术。通过这种技术，可以一次完成溅射镍层（粘接层）和钒层（阻挡层），简化了制造过程。
镍钒靶材特征
镍钒靶材形状：平面靶、异型定制
镍钒靶材纯度：3N5
镍钒靶材尺寸：按图纸加工或其他者定制
我们还可以提供镍钒合金颗粒、镍钒合金片，镍钒合金棒。
镍钒合金靶材制备工艺
将镍钒铸锭进行热锻造。热段前保温温度为900-1300℃,热锻造保温时间为1-4h。出炉后将镍钒铸锭沿轴向墩粗拔长3次以上，锻造完成后空冷；
将锻造所得镍钒胚料进行退火，退火温度为800-1000℃,退火时间为1-2h；
将退火后的镍钒坯料进行轧制变形，总冷变形率为65-90%:冷变形方式包括轧制或墩粗后轧制,其中轧制的道次变形量为7-15%；
将变形后的镍钒坯料进行二次退火,退火温度为650-950℃,退火时间为1-3h。
此次制备得到的镍钒溅射靶材的晶粒度≤150um,晶粒细小,分布均匀。
上图是镍钒合金靶材的成分分析表
镍钒合金靶材材应用
集成电路：在集成电路制作中，镍钒溅射靶材可一次完成溅射镍层（粘接层）和钒层（阻挡层）的制备，替代纯镍溅射靶材；
显示器：可用于平板显示器镀膜，提高显示器的性能；
太阳能行业：应用于太阳薄膜电池，有助于提高太阳能电池的效率；
建筑玻璃：用于大型建筑玻璃、汽车玻璃及其他特殊领域玻璃的镀膜。
镍钒合金其他应用
弹性合金：镍钒合金因其高弹性而被用于制作弹簧和精密仪器中的弹性元件。
耐热合金：镍钒合金具有良好的耐热性和抗氧化性，适用于制作涡轮发动机部件、燃烧室、喷嘴和高温下使用的其他部件。
制造业：在各种制造业中，镍钒合金被用于制作模具和模芯，因为它们在高温下仍能保持高强度和尺寸稳定性。
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