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镍钨合金靶材材定义、特性、制备方法和应用

发布时间:2024-07-12 作者:长沙鑫康新材料 阅读量:407


镍钨合金溅射靶材由镍(Ni)和钨(W)两种金属组成,通常以粉末冶金法制备。这种合金结合了镍的低电阻系数和良好的加工性能,以及钨的高熔点和优异的耐腐蚀性能。广泛应用于集成电路和金属化薄膜的制备中。

镍钨合金靶材


镍钨合金靶材特征
镍钨合金靶材形状:平面靶 异型定制
镍钨合金靶材纯度:2N5
镍钨合金靶材尺寸:按图纸加工或者定制
我们还可以提供镍钨合金颗粒、镍钨合金片,镍钨合金棒

一种镍钨合金溅射靶材的热压制备方法
准备Ni粉质量占比为50%的镍钨合金粉,装入模具并封口;
将封口后的模具进行热压烧结处理,得到镍钨合金烧结体;
将封口后的模具放入热压烧结炉中,抽真空至100Pa以下,升温至1000~1050℃并保温60~90min,保温结束后升温至1270~1350℃并保温50~70min,加压至25~35MPa并始终保持1270~1350℃,控制保温保压时间为60~180min;关闭所述热压烧结炉并冷却,然后充入氩气至真空表示数为-0.06~-0.08MPa;其中,控制封口后的模具的内部压强<1MPa;
将热压烧结得到的镍钨合金烧结体进行机加工,得到镍钨合金溅射靶材。


镍钨合金靶材成分表

以上是镍钨合金靶材成分材质单

镍钨合金靶材应用
半导体行业:在半导体制造过程中,镍钨合金靶材常用于形成导电层或作为阻挡层材料,用于制造集成电路和微电子器件。
智能玻璃:镍钨合金靶材用于制备电致变色智能玻璃,这种玻璃能够在电场作用下改变颜色和透明度,广泛应用于建筑智能窗、汽车智能窗以及飞机窗户。
装饰涂层:在装饰领域,镍钨合金靶材可用于形成具有特殊光泽和耐磨性的涂层,用于提升产品外观和耐用性。
LED和光伏器件:在LED和光伏行业,镍钨合金靶材用于制造薄膜太阳能电池和LED照明设备中的反射层或电极层。
光学信息存储:在光学信息存储领域,镍钨合金靶材可用于制造光盘和其他存储介质的反射层。
汽车和建筑玻璃:镍钨合金靶材在汽车和建筑玻璃上的应用,可以提高玻璃的安全性和节能效果。

镍钨合金应用
航空航天领域:镍钨合金因其高密度和良好的高温强度,常用于航空航天工业中,如制造飞机和航天器的平衡锤、陀螺仪和高温部件。
军事工业:在军事领域,镍钨合金可用于制造穿甲弹和装甲,因其高密度和硬度,提供了优异的穿透力和防护能力。
电子行业:镍钨合金在电子行业中用作电子设备的屏蔽材料,以防止电磁干扰。
化工行业:在化工领域,镍钨合金可作为催化剂或催化剂载体,用于各种化学反应过程。
医疗领域:镍钨合金在医疗领域中,可以用于制造放射性治疗设备,如用于癌症治疗的放射源。
能源领域:在能源行业,镍钨合金可用于制造核反应堆中的控制棒,利用其良好的中子吸收能力。
机械加工:由于其高硬度和耐磨性,镍钨合金可用于制造切削工具、模具和其他机械加工部件。


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