铁锰合金靶材定义、特性、制备方法和应用
发布时间:2024-09-07 作者:长沙鑫康新材料 阅读量:178
铁锰合金靶材是由铁和锰组成的铁合金靶材,其颜色呈黑褐色,主要由铁与锰金属材料混合组成。这种合金靶材在半导体器件制造、光学薄膜、太阳能电池以及显示技术等领域中发挥着重要作用。铁锰合金靶材的制备工艺包括选择原料、熔炼混合、热处理、冷变形与退火以及机加工等步骤。通过这些工艺,可以得到具有细小晶粒尺寸和良好物理性能的铁锰合金靶材。
铁锰靶材特征
铁锰靶材形状:平面靶、异型定制
铁锰靶材纯度:2N
铁锰靶材尺寸:按图纸加工或其他者定制
我们还可以提供铁锰合金颗粒、铁锰合金片,铁锰合金粉末
铁锰合金靶材制备工艺
选择原料:选择纯度大于99.9%的铁(Fe)和锰(Mn)块状金属。按照一定的比例(例如1:1或根据具体需求调整比例)进行配比混合,获得合金原料;
熔炼混合:将铁和锰按照一定的比例混合,在真空条件下熔化后进行精炼和浇铸,冷却后得到铸锭;
热处理:对铸锭进行高温锻造开坯,然后进行低温三向锻造,充分破碎坯料组织。锻后坯料在一定的温度范围内进行再结晶热处理,获得细小的晶粒尺寸;
冷变形与退火:对坯料进行多次冷变形和回复退火,进一步细化晶粒,实现超细晶铁锰合金靶材的制备;
机加工:将经过热处理和冷变形退火后的板坯进行矫平,冷却后,得到的板坯经机加工,终得到铁锰合金靶材。
上图是铁锰合金靶材的成分分析表
铁锰合金靶材材应用
半导体行业:铁锰合金靶材在半导体器件制造中用于磁控溅射镀膜技术,用于制作集成电路和微芯片。
光学薄膜:铁锰合金靶材用于制备具有特定光学特性的薄膜,这些薄膜可用于光学仪器和显示技术等领域。
太阳能电池:在太阳能电池制造中,铁锰合金靶材用于制备薄膜太阳能电池中的导电层薄膜。
平板显示技术:铁锰合金靶材在平板显示行业中用于磁控溅射镀膜,用于制作显示面板和触控屏面板。
刀具和模具涂层:刀具和模具在使用过程中需要承受较高的磨损和应力,通过在其表面镀上铁锰合金薄膜,可以显著提高表面硬度、耐磨性和抗腐蚀性,延长刀具和模具的使用寿命,降低生产成本。
铁锰合金其他应用
电气行业:铁锰合金靶材用于制造电阻元件、加热电缆以及低压电器产品等,利用其导电性和机械强度。
汽车制造:铁锰合金靶材在汽车行业中用于制造某些部件,可能因其耐腐蚀性和强度。
航空航天:铁锰合金靶材可能用于航空航天领域,用于制造高温部件或防护材料。
磁性材料:铁锰合金靶材因其磁性特性,可用于制备磁性材料。
传感器:铁锰合金靶材的导电性和耐腐蚀性使其在传感器制造中也有应用。
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