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铁铬合金靶材定义、特性、制备方法和应用

发布时间:2024-09-21 作者:长沙鑫康新材料 阅读量:216


铁铬合金靶材主要由铁(Fe)和铬(Cr)两种元素组成,具有特定的铁和铬的比例。通常呈灰黑色,其纯度可以达到3N(即99.9%)。制备通常采用真空感应熔炼法和粉末冶金法。


铁铬合金靶材


铁铬靶材特征

铁铬靶材形状:平面靶、异型定制

铁铬靶材纯度:2N5

铁铬靶材尺寸:按图纸加工或其他者定制

我们还可以提供铁铬合金颗粒、铁铬合金块,铁铬合金粉末


铁铬合金靶材制备工艺

混合金属粉‌:选择高纯度的铁和铬原料,根据所需合金的成分比例进行称量;

干压成型:将混合好的粉末放入模具中,利用干压成型机施加一定压力制成靶材坯体;

预烧:将坯体置于烧结炉中,在较低温度下(例如500°C左右)进行预烧,以去除有机物和水分。随后升温至更高的温度(如1200°C至1500°C),在此温度下保温一段时间以实现粉末颗粒间的扩散和合金化反应,从而获得致密的铁铬合金靶材。烧结完成后,缓慢冷却至室温以防止产生裂纹;

加工处理:对烧结后的靶材进行机械加工,以达到所需的尺寸和形状精度。对靶材进行表面处理,以确保其在溅射过程中的性能。


铁铬合金靶材成分表


上图是铁铬合金靶材的成分分析表


铁铬合金靶材材应用

电子行业:用于集成电路(IC)、液晶显示器(LCD)、发光二极管(LED)等制造过程中的薄膜沉积。

光学行业:用于制备光学薄膜,如增透膜、反射膜、滤光膜等,以改善光学元件的性能,提高光学系统的成像质量和光学效率。

表面涂层领域:通过物理气相沉积技术在各种材料表面沉积铁铬合金薄膜,以提高材料的表面硬度、耐磨性、耐腐蚀性和抗氧化性,延长材料的使用寿命,广泛应用于机械零部件、刀具、模具等表面涂层。

其他领域:在航空航天、汽车制造、新能源等领域也有一定的应用,如用于制造航空发动机部件的高温防护涂层、汽车零部件的表面强化涂层等。


铁铬合金其他应用

航空、航天领域:铁铬合金在航空、航天领域有着重要的应用。由于铁铬合金具有高强度、高温稳定性和耐腐蚀性,它被用于制造航空发动机和航天器的关键部件,如涡轮叶片、燃烧室和导向叶片等。

汽车领域:在汽车领域,铁铬合金被用于制造发动机、制动系统、外壳和底盘等关键零部件。其高强度和耐腐蚀性确保了汽车部件的耐用性和安全性。

化工领域:铁铬合金的耐腐蚀性能使其在化工领域得到广泛应用,用于制造耐腐蚀设备和管道,能够抵抗酸、碱等腐蚀性介质的侵蚀。


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