铁铪合金靶材定义、特性、制备方法和应用
发布时间:2024-09-26 作者:长沙鑫康新材料 阅读量:197
铁铪合金靶材是一种由铁和铪组成的合金材料,其中铁是基础金属,铪是合金强化元素。这种合金材料结合了铁和铪的优点,具有高强度、高温稳定性、耐腐蚀性能等优良特性。铁铪合金靶材的制备过程主要包括真空熔炼和粉末冶金法两种。
铁铪靶材特征
铁铪靶材形状:平面靶、异型定制
铁铪靶材纯度:3N
铁铪靶材尺寸:按图纸加工或其他者定制
我们还可以提供铁铪合金颗粒、铁铪合金块,铁铪合金棒材
铁铪合金靶材制备工艺
原材料准备:准备铁(Fe)和铪(Hf)两种元素的原材料。根据需要的合金比例,称量适量的铁和铪原材料;
熔炼:将称量好的铁和铪原材料放入坩埚中。进行真空熔炼,确保成分均匀且纯度高。熔炼过程中,温度应适中,以保证两种金属充分熔化而不产生过度升温;
浇铸:将熔炼后的合金溶液倒入模具中,形成方形的铸锭坯料。浇铸速度应控制在0.5至1.5kg/min之间,以确保热量快速传递至模具,避免出现冷隔、冷线等缺陷;
机械加工:对铸锭坯料进行机加工,将其加工成所需的形状和尺寸的靶材;
热处理:对加工后的靶材进行热处理,如退火,以释放压力加工破碎的晶粒以及储存的畸变能,形成均匀等轴晶粒;
清洗和检测:对靶材进行清洗,去除表面的杂质和氧化物。对靶材的纯度和晶粒尺寸进行严格的检测,以确保其质量符合要求。
铁铪合金靶材材应用
半导体行业:在半导体制造中,铁铪合金靶材可用于制备各种薄膜,如金属间化合物薄膜、扩散阻挡层薄膜等。这些薄膜在半导体器件中起到连接、隔离、保护等作用,对半导体器件的性能和可靠性有着重要的影响。
光学镀膜领域:由于铁铪合金具有独特的光学性能,可用于制备光学薄膜,如增透膜、反射膜等。这些光学薄膜广泛应用于光学器件、激光设备、太阳能电池等领域。
磁记录领域:在磁记录技术中,铁铪合金靶材可用于制备磁性薄膜,如硬盘的磁记录层。这种磁性薄膜具有较高的磁性能和稳定性,能够提高磁记录的密度和可靠性。
铁铪合金其他应用
航空、航天领域:用于制造及维修高强度、高温稳定性和耐腐蚀性要求高的设备和工具。
汽车领域:用于汽车发动机、制动器、外壳、底盘等零部件的制造。
化工领域:用于制造耐腐蚀的化工设备。
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