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钴锆合金靶材定义、特性、制备方法和应用

发布时间:2025-03-20 作者:长沙鑫康新材料 阅读量:42

钴锆合金靶材由钴(Co)和锆(Zr)按特定比例组成的合金。常见的钴锆合金中,钴的含量一般在 70% - 90%左右,锆含量在 10% - 30%左右 ,但具体比例会因不同的工艺和使用场景有所变化。

钴锆合金靶材

钴锆合金靶材特性
高熔点与高强度:钴和锆均具有较高的熔点,使得合金靶材能够在高温环境下保持稳定。
良好的抗腐蚀性:锆的加入提高了靶材的抗腐蚀性能。
成分均匀性:通过高真空熔炼工艺,确保合金成分均匀分布。
优异的磁性:钴的磁性特性使得钴锆合金靶材在磁性薄膜制备中表现出色。

钴锆合金棒材

钴锆合金靶材制备方法
选择原料:选用高纯度的钴粉和锆粉作为基础原料,一般要求钴粉和锆粉的纯度不低于99.9%。
原料配比:根据目标靶材的成分要求,准确计算并称量所需的钴粉和锆粉的质量。例如,若要制备含钴量为90%、含锆量为10%的钴锆合金靶材,则需按照相应的质量比例进行配料。
压制成型:将混合粉末装入模具。在200-600 MPa下压制成型,形成坯体。
烧结:使用真空或气氛烧结炉。在1000-1400°C下烧结数小时,促进致密化和合金化。
热处理:在800-1000°C下退火数小时,消除内应力,改善性能。
机械加工:对烧结后的坯体进行车削、磨削等加工,达到所需尺寸和表面光洁度。

钴锆合金靶材应用领域
电子工业:用于制造薄膜电阻、电容、半导体器件等。
光学薄膜:用于光学涂层,如反射镜和滤光片。
耐磨涂层:应用于机械零件、工具等,提升耐磨性。
磁记录领域:可用于生产硬盘、磁带等存储介质的磁性薄膜。

钴锆合金应用领域
高温应用:适用于高温环境下的部件,如高温炉的加热元件。
航空航天领域:其高强度和耐高温特性使其适用于航空航天领域的零部件。
化工设备:其耐腐蚀性使其适用于制造化工设备的部件。
医疗领域:锆的生物相容性使其在医疗植入物中有潜在的应用。


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