铝锌合金靶材定义、特性、制备方法和应用
发布时间：2025-06-27 作者：长沙鑫康新材料 阅读量：16
铝锌合金靶材性能特点
良好的导电性：铝和锌本身都是具有良好导电性的金属，其合金靶材制备的薄膜也具有优异的导电性能，能够满足电子器件等领域对导电薄膜的要求。
优异的耐腐蚀性：铝锌合金在空气中易形成一层致密的氧化膜，这层氧化膜可以阻止内部金属进一步被氧化和腐蚀，使其在恶劣环境下具有较长的使用寿命。
良好的光学性能：铝锌合金靶材制备的薄膜在可见光和近红外光区域具有较高的透过率和反射率，可应用于光学镀膜领域，如制备光学镜片、太阳能电池减反射膜等。
机械性能良好：具有一定的强度和硬度，能承受一定的外力作用，在镀膜过程中不易发生变形或损坏，且制成的薄膜与基体材料之间有较好的附着力，不易脱落。
铝锌合金靶材制备方法
原料准备：选用纯度≥99.99%的铝（Al）和锌（Zn）颗粒或锭块，根据靶材成分要求（如Al:Zn = 50:50 at.% 或 90:10 at.%），精确称量原料。
熔炼与合金化：将原料放入真空感应熔炼炉或电弧熔炼炉中，抽真空至10?3 Pa以上，充入惰性气体（如氩气）保护。升温至铝锌共晶点以上（约500-600℃），充分搅拌使合金成分均匀，避免Zn挥发（可适当过量添加Zn补偿挥发损失）。将熔融合金浇入预热（200-300℃）的铜模或石墨模中，冷却形成铸锭。
均匀化处理：将铸锭在300-400℃下保温10-24小时，消除成分偏析，提高组织均匀性。
机械加工：热锻或热轧（温度200-300℃）铸锭至所需厚度，细化晶粒并提高致密度。车削或铣削成接近靶材尺寸的坯料，表面粗糙度控制在Ra≤1.6 μm。
铝锌合金靶材主要应用领域
光学镀膜：用于制备红外反射膜、透明导电膜（如AZO，铝掺杂氧化锌），应用于太阳能电池、节能玻璃等。
半导体工业：作为电极或导电层材料。
显示技术：用于LCD、OLED等显示器的薄膜晶体管（TFT）背板。
防腐涂层：铝锌合金膜具有优异的耐腐蚀性，用于汽车、船舶或建筑材料的防护。
铝锌合金主要应用领域
汽车制造：铝锌合金在汽车制造领域应用广泛，如发动机零部件、车身结构等。
航空航天：铝锌铝合金可用于制造航空发动机部件、飞机机身结构和航空航天设备等。
船舶工业：船舶结构和设备需要具有较高的耐腐蚀性和耐候性，锌铝合金正好符合这些要求，可用于制造船体结构、船舶配件和船用设备。
建筑领域：铝锌合金在建筑材料领域被广泛应用于屋顶、墙板、门窗等
电子电器领域：锌铝合金具有良好的导热性能和耐腐蚀性能，能够满足电子产品领域对材料导热、耐用的需求.
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