嗨,你好,欢迎来到汇聚科研材料服务平台
全部材料

铝钇合金靶材定义、特性、制备方法和应用

发布时间:2025-08-08 作者:长沙鑫康新材料 阅读量:22

铝钇合金靶材

铝钇合金靶材是一种由铝(Al)和钇(Y)两种金属元素组成的合金靶材,通过特定的制备工艺(熔炼法或者粉末冶金法)制成,主要用于在半导体、太阳能电池、光学镀膜等领域沉积功能性薄膜,在材料表面形成具有特定性能的铝钇合金薄膜。


铝钇合金靶材性能特点

耐高温性能:继承钇-铝合金的特性,可在高温环境下保持稳定的结构。
薄膜质量优化:钇的加入可能改善薄膜的致密性和附着力,类似于铝锆合金靶材的高成膜质量特性。
特殊功能应用:若应用于光学或电子领域,钇的光学活性和铝的导电性可能协同提升薄膜功能。


铝钇溅射靶材


铝钇合金靶材制备方法

原料准备:选用纯度≥99.99%的铝(Al)和钇(Y)块,根据靶材成分设计(如62.5/37.5at%)计算配比。
熔炼工艺:将原料放入氧化铝坩埚,抽真空至10⁻³ Pa后充入高纯氩气(Ar)。先升温至700℃熔化铝,再升至1500℃使钇完全溶解,电磁搅拌30分钟确保成分均匀。浇注至铜模中快速冷却,获得成分均匀的合金铸锭。
均匀化处理:在氩气保护下,将铸锭置于500℃退火12小时,消除枝晶偏析,促进Y元素扩散。
热机械加工:将铸锭加热至400℃(低于铝再结晶温度),分多道次轧制至目标厚度(如5mm),总变形量≥80%。每道次轧制后于350℃退火1小时,释放应力并保持塑性。
靶材成型:线切割或CNC加工至所需尺寸(如平面靶、旋转靶)。


铝钇合金靶材主要应用领域

半导体工业:用于沉积铝钇合金薄膜,作为互连线或阻挡层材料,兼具导电性和抗电迁移性能;
太阳能电池:在薄膜光伏器件中作为背电极或反射层,提升光电转换效率;
防护涂层:用于航空航天部件的耐高温、耐腐蚀涂层;
磁性存储:作为硬盘磁头的薄膜材料,优化磁性能。


铝钇合金主要应用领域

航空航天领域:该领域是铝钇合金的核心应用场景之一。由于合金具备高强度、高硬度、耐高温及抗腐蚀性能,常用于制造飞机结构件(如发动机叶片、燃烧室)、火箭部件等。
交通运输领域:在汽车、火车等交通工具中,铝钇合金被用于车身、轮毂、发动机活塞等部件的生产。
电子电器领域:铝钇合金在电子器件中主要用于散热器、导电材料、电容器、电阻器以及磁材料的制作。
新能源领域:在太阳能电池、燃料电池等领域,铝钇合金作为关键材料可提高能源转换效率和存储性能。




感谢您阅读铝钇合金靶材定义、特性、制备方法和应用,希望大家能对铝钇合金靶材有更好的了解。如果您想了解更多关于金属科研材料的信息,请收藏我们的网站鑫康新材料科研服务厂家https://www.xk-materials.cn/


[免责声明]本站文章部分为原创,其余仅做网络公开资料的翻译、归纳和整理,不属于商业用途,仅用于读者信息分享,供读者学习参考,不对文章内容的真实性、合法性、准确性、有效性、完整性等提供保证及负责,且不对读者提供任何投资及应用建议。本站尊重知识产权,因整理资料所需,文中引用部分有来源于第三方公开的数据、图片等内容的,如有版权的则其所属的知识产权归属原作者,本站文章凡有引用的内容均在文末标注了原文出处或者原作者,若版权所有者认为文章涉嫌侵权或其他问题,请联系我方(联系电话:0731-86393472)及时处理。本站提供技术方面的文章不用于商业仅供大家学习参考,力求数据严谨准确,但因受时间及人力限制,文章内容难免有所纰漏,如有重大失误失实,敬请不吝赐教批评指正。本站原创文章版权归本网站所有,转载请联系本站,本站拥有对此声明的终解释权。