镍钴铬合金靶材定义、特性、制备方法和应用
发布时间：2025-12-13 作者：长沙鑫康新材料 阅读量：75
镍钴铬合金靶材是一类以镍、钴、铬为主元素的高性能溅射靶材，通过熔炼、浇铸、成型等工艺制成，在半导体、磁记录、光学镀膜及航空航天等领域应用广泛。
镍钴铬合金靶材主要性能
卓越的耐高温性能：在高温下（通常可达1000°C以上）能保持强度，并抵抗氧化和蠕变。
出色的耐腐蚀性：对氧化性环境、盐雾、多种酸性和碱性介质都有很强的抵抗能力，特别是含Cr、Mo的牌号。
良好的机械性能：高强度、高硬度、良好的抗疲劳和抗磨损能力。
可控的薄膜性能：通过PVD工艺，能在相对较低温度的基底上沉积出具有与块体合金相近化学成分和优异性能的薄膜。
镍钴铬合金靶材制备方法
熔炼铸造：采用真空感应熔炼（VIM）将高纯 Ni、Co、Cr 原料在真空环境下熔炼成合金液，浇铸到石墨或金属模具中，冷却形成合金锭
塑性加工：热锻、热轧，后续可进行冷轧进一步细化组织。
退火：在真空或氩气保护下，加热，保温，消除塑性加工产生的内应力，调整晶粒尺寸。
机加工：将热处理后的坯料用车、铣、刨等方式加工至接近终尺寸。
镍钴铬合金靶材应用领域
在半导体制造中，可用于制备半导体器件中的导电层和阻挡层；
在磁记录技术领域，能用于制造硬盘驱动器中的磁记录薄膜；
在航空航天领域，可用于制造航空发动机部件等的防护涂层；
在能源装备行业，可用于燃气轮机叶片等高温部件的防护涂层。
镍钴铬合金应用领域
航空航天领域：是航空发动机和燃气轮机的“心脏材料”。
能源与工业燃气轮机领域：用于高温、高压、腐蚀性环境下的关键设备。
医疗器械领域：因其极高的耐磨性、高强度和生物相容性，是金属对金属或金属对聚乙烯关节的首选材料。
化工与海洋工程领域：利用其耐蚀合金特性，用于极端腐蚀环境。
汽车工业：涡轮增压器叶片、排气阀等高温部件。
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