高纯4N(99.99%) 二氧化硅陶瓷靶材,价格以当日报价为准,需联系销售报价!!!
元素 : SiO₂
纯度 : 4N
形状 : 平面靶材
规格 : 1Kg
包装 : 三层真空包装或充氩气保护,符合IATA、DOT包装规范
所有订单均提供正式发票,另外依据客户需要提供正式报价单和合同
市场参考价格:¥200.00/片左右,价格仅供参考,如有需要,请咨询报价,以当日报价为准!
规格:D50.8X3mm,D101.6X3mm或者加工定制
纯度:99.99%
颜色:透明晶片
二氧化硅靶材是一种在现代工业中具有重要应用的材料,主要用于在半导体制造、光学镀膜和薄膜太阳能电池等应用中沉积二氧化硅薄膜。
二氧化硅陶瓷靶材特征
摩尔质量:60.08 g/mol
外观:透明固体(无定形)
密度:2.648 (α-石英), 2.196 (无定形) g·cm -3
熔点:1,713 °C (3,115 °F; 1,986 K)
沸点:2,950 °C (5,340 °F; 3,220 K)
磁化率(χ):-29.6·10 -6 cm 3 /mol
导热系数:12 (|| c-axis), 6.8 (⊥ c-axis), 1.4 (am.) W/(m⋅K)(p12.213)
折射率 (nD):1.544 (o), 1.553 (e)(p4.143)
二氧化硅靶材的制备方法
粉末准备:首先需要准备高纯度的二氧化硅粉末。
成型:将粉末通过冷等静压或热压的方式成型为靶材的初胚。
脱气和烧结:在保护气氛下,对成型的初胚进行脱气处理,以去除粉末中的气体杂质,随后进行热等静压烧结,以提高靶材的致密度和均匀性。
热处理:烧结完成后,靶材可能需要进行热处理,如退火或淬火,以优化其性能。
机械加工:对烧结和热处理后的靶材进行机械加工,包括切割、打磨和抛光,以达到所需的尺寸和形状。
检验:对制备好的靶材进行质量检验,包括纯度、致密度、抗弯强度等性能指标的检测。
二氧化硅靶材的应用领域
半导体制造:二氧化硅靶材用于集成电路中的绝缘体和介电材料。
光学镀膜:二氧化硅靶材用于透镜和镜子以提高性能。
薄膜太阳能电池:二氧化硅靶材充当抗反射涂层以提高能源效率。
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