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氧化镓(Ga₂O₃)陶瓷靶材 ¥1080.00


高纯4N(99.99%)氧化镓陶瓷靶材,价格以当日报价为准,需联系销售报价!!!


元素 : Ga₂O₃     

纯度 : 4N     

形状 : 平面靶材     

规格 : 1Kg     

包装 : 三层真空包装或充氩气保护,符合IATA、DOT包装规范     

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商品详情

市场参考价格:¥1080.00/片左右, 价格仅供参考,如有需要,请咨询报价,以当日报价为准!

纯度:4N

形状:平面靶 旋转靶 异型定制

外观:白色 / 浅灰色陶瓷圆片或方板,尺寸 2–8 英寸,厚度 3–6mm  

尺寸: D50.8x3.175mm 或者可按要求定制


氧化镓靶材是一种以氧化镓(Ga₂O₃)为核心成分的溅射靶材,属于第四代(超宽禁带)半导体材料。它主要用于磁控溅射等物理气相沉积工艺,在基片上沉积出高质量的氧化镓薄膜,是制造高性能半导体器件的关键基础材料。


氧化镓靶材核心特性
高纯度:主流产品纯度达99.99%(杂质含量≤100ppm),部分企业通过严格生产流程和质量检测,将杂质控制在更低水平。
宽禁带特性:禁带宽度为4.8-5.3eV,能够实现更高的击穿电场强度和更优的热稳定性。
可调控性:通过调整掺杂元素类型和浓度,可精准控制材料的导电性、光学性能等参数,满足不同应用场景需求。


氧化镓陶瓷靶材


氧化镓靶材制备工艺
配料:高纯Ga₂O₃粉体(4N~5N)筛分混合。
成型:冷等静压(CIP)预压成型。
烧结:高温真空烧结或热压烧结(SPS/Hot Press),高端产品加热等静压(HIP)进一步提高致密度和抗裂性。
加工:精密磨削、抛光、清洗、真空包装。


氧化镓靶材主要应用领域
功率半导体:用于制造新能源汽车快充模块、智能电网固态变压器等,能显著提升效率并减小设备体积。
光电器件:用于日盲紫外(UVC)探测器、深紫外LED等。其电信号对UVC光极其敏感,探测比可超1000:1。
透明导电薄膜:常作为掺杂源与氧化锌(ZnO)结合,制成GZO靶材。这种薄膜导电性和透光性极佳,是柔性OLED显示屏、钙钛矿太阳能电池的关键材料。