高纯2N5(99.5%)氮化钽陶瓷靶材,价格以当日报价为准,需联系销售报价!!!
元素 : TaN
纯度 : 2N5--4N
形状 : 平面靶材
规格 : 1Kg
包装 : 三层真空包装或充氩气保护,符合IATA、DOT包装规范
所有订单均提供正式发票,另外依据客户需要提供正式报价单和合同
市场参考价格:¥1800.00/片左右(99.5% D60 * 4mm),价格仅供参考,如有需要,请咨询报价,以当日报价为准!
产品名称:氮化钽(TaN)陶瓷靶材
纯度:2N5,3N
规格:D25.4 x 6.35mm,D50.8x3mm ,D75x100mm 或者规格生产
氮化钽(TaN)靶材是一种重要的陶瓷材料,具有优异的物理和化学性质,广泛应用于电子、光学和涂层技术等领域。
氮化钽靶材物理和化学性质
熔点:3090℃,具有高熔点,适用于高温环境。
密度:13.4 g/cm³,确保了靶材的稳定性和耐用性。
显微硬度:1100 kg/mm²,表现出优异的耐磨性能。
热导率:9.54 W/(m·K),能够快速传递热量,降低热应力。
电阻率:128 μΩ·cm,适合用于制造高精度片状电阻。
氮化钽靶材的制备
原材料准备:选择高纯度的钽粉和氮源(如氨气)作为原材料。
混合:将钽粉和氮源按化学计量比混合均匀。
成型:将混合物通过压制成型,形成所需的形状,如片状、块状或圆柱形。
烧结:将成型后的坯体在高温下进行烧结,通常在1500°C至2000°C之间,以提高其密度和强度。
机械加工:对烧结后的靶材进行机械加工,包括切割、打磨等,以达到所需的尺寸和形状。
表面处理:对靶材表面进行清洗和抛光,以确保表面质量和溅射性能。
氮化钽靶材应用领域
电子工业:氮化钽靶材用于制造电子设备中的导电层和保护层,如集成电路、微电子机械系统(MEMS)和传感器。
光学涂层:氮化钽靶材用于制造光学涂层,如增透膜、反射膜和防污膜,提高光学元件的性能和寿命。
涂层技术:氮化钽靶材用于物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)技术,制造耐磨、耐腐蚀和高温稳定的涂层。
航空航天:氮化钽的高熔点和化学稳定性使其适用于航空航天领域的高温部件,如喷嘴和喷管。
能源领域:氮化钽靶材用于制造太阳能电池的电极和保护层,提高电池的光电转换效率。
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