高纯2N5(99.5%)氮化钽颗粒,价格以当日报价为准,需联系销售报价!!!
元素 : TaN
纯度 : 2N5
形状 : 颗粒
规格 : 1Kg
包装 : 真空包装、纸箱、木箱
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市场参考价格:¥ 6000/Kg左右,价格仅供参考,如有需要,请咨询报价,以当日报价为准!
氮化钽(TaN)颗粒是一种灰黑色化合物,是钽的氮化物。化合物有多个相,从 Ta2N 到 Ta3N5 包括 TaN。
化学式:TaN
摩尔质量:194.955 g/mol
外观:黑色结晶
密度:14.3 g/cm3
熔点:3,090 °C (5,590 °F; 3,360 K)
水中溶解度:不溶
晶体结构:六方形,hP6
应用
它有时用于集成电路制造,以在铜或其他导电金属之间形成扩散屏障或“胶水”层。在BEOL加工(约20 nm)的情况下,铜首先涂上钽,然后使用物理气相沉积(PVD)涂上TaN;然后通过PVD将这种阻隔涂层铜涂上更多的铜,并在机械加工之前填充电解涂层铜。
它还可用于薄膜电阻器。与镍铬合金电阻器相比,它的优点是形成耐湿的钝化氧化膜。
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