高纯3N5(99.95%)铝钛靶材,价格以当日报价为准,需联系销售报价!!!
元素 : TiAl
纯度 : 3N 3N5
形状 : 靶材
规格 : 片
包装 : 真空包装、纸箱、木箱
所有订单均提供正式发票,另外依据客户需要提供正式报价单和合同
市场参考价格:¥100.00/KG片, 价格仅供参考,如有需要,请咨询报价,以当日报价为准!
产品名称: 铝钛合金靶材( Aluminum titanium alloy target material)铝钛合金靶材是一种用于溅射镀膜的材料,主要由铝和钛两种金属元素组成。它具有高纯度、高密度、高溅射速率等特点,广泛应用于电子、光学、光伏等领域。铝钛合金靶材的性能取决于其成分和生产工艺,通常可以通过调整铝和钛的比例来获得不同的性能。我们的铝钛合金靶材还可以根据客户的需求进行定制。
铝钛合金靶材制备方法
将铝粉和钛粉按一定比例混合(原子比为50-70:30-50)。混合方式为机械混合、真空混料或惰性保护气体混合,混合时间为30min以上,得到铝钛粉混合粉末;
将铝钛混合粉末装入到金属包套中,通过震动和捶打包套外围使粉末装填密实。焊接好金属包套的端盖、抽气管,把金属包套放入加热炉中,连接抽气管至真空机组,进行升温抽气,抽气的温度为350-600℃,保持温度待真空度达到1.5×10-3pa后,把抽气管压扁封焊;
抽完气的金属包套装入热等静压设备进行热等静压烧结,热等静压的温度为600-880℃,压力为150mpa,保温保压5h,得到铝钛靶包套;
热等静压后的铝钛靶材经车削加工去除外包套后,可以加工成所需形状的铝钛靶材。
该发明制备的铝钛靶材溅射镀膜成膜效果好,膜层不易开裂脱落,膜基结合力强,符合刀具或装饰镀厂家的实际需求。
上图是铝钛合金靶材的材质单
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