高纯3N(99.9%) 铁钴钽合金靶材,价格以当日报价为准,需联系销售报价!!!
元素 : FeCoTa
纯度 : 3N
形状 : 平面靶材
规格 : 片
包装 : 真空包装、纸箱、木箱
所有订单均提供正式发票,另外依据客户需要提供正式报价单和合同
市场参考价格:¥1000.00/Kg左右,价格仅供参考,如有需要,请咨询报价,以当日报价为准!
产品名称:铁钴钽(FeCoTa)合金靶材
纯度:99.9%
规格:D50.8x3mm 或者 按规格定制
铁钴钽合金靶材是由铁、钴、钽元素组成的合金,具有高效、耐用、可靠的特点,靶材形状通常为圆形。适用于在高技术领域中使用,如磁记录、磁头材料等。其制备方法通常包括粉末冶金法、真空熔炼法等。
微观结构特性
由于该合金材料含有大量的钽,在凝固过程中,会产生偏析,但采用独特的快冷工艺,可得到晶粒细小且成分均匀的合金靶材。
性能特性
其沉积的膜层是垂直磁记录介质重要的软磁层材料。
铁钴钽合金靶材的制备方法
准备原料:首先需要准备铁粉、钴粉和钽粉,按照预定的目标原子比例进行混合。
混合原料:将铁粉、钴粉和钽粉在惰性气体保护下混合,得到铁钴钽混合粉。
冷压:将混合粉进行冷压,形成胚料。
真空脱气:将胚料在真空条件下进行脱气处理,以去除混合粉中的气体杂质。
热压烧结:脱气处理后,将模具放入热等静压炉中,先进行冷态增压烧结,温度控制在400-600℃,时间1-2小时。随后升温至750-900℃,在90-170mpa的压力下保温保压3-6小时,完成热等静压处理,从而得到铁钴钽合金溅射靶材粗品。
加工:将烧结后的靶材进行必要的机械加工,使其达到所需的尺寸和形状。
检验:对制备好的铁钴钽靶材进行质量检验,包括纯度、致密度、抗弯强度和磁通量等性能指标。
铁钴钽合金靶材应用
半导体行业:铁钴钽合金靶材在半导体芯片的制作中扮演着重要角色,尤其是在晶圆制造和芯片封装这两个环节中。
磁记录材料:铁钴钽合金靶材也被广泛应用于磁记录材料的制造,包括磁记录介质材料和磁头材料。
平板显示行业:在平板显示行业中,铁钴钽合金靶材同样有重要应用,尤其是在Array的TFT生产中。
光伏领域:铁钴钽合金靶材在光伏领域也有应用,尤其是在薄膜电池和HJT光伏电池中。
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