高纯3N(99.9%)铁铝合金靶材,价格以当日报价为准,需联系销售报价!!!
元素 : FeAl
纯度 : 3N
形状 : 平面靶材
包装 : 真空包装、纸箱、木箱
所有订单均提供正式发票,另外依据客户需要提供正式报价单和合同
市场参考价格: ¥900.00/件。价格仅供参考,如有需要,请咨询报价,以当日报价为准!
名称: 铁镍钴(FeNiCo)合金靶材
纯度:99.9%
规格: 2x40x40mm 或者定制
铁铝合金靶材是由铁(Fe)与铝(Al)按特定比例合成的高性能合金溅射靶材,其凭借优异的耐热、耐腐蚀及力学性能,成为半导体、航空航天、新能源等领域薄膜制备的关键材料。作为溅射工艺的核心原料,其纯度、致密度与成分均匀性直接决定薄膜质量,是高端功能涂层制造的刚需耗材。

铁铝合金靶材特征
优异的磁性能:通过调整铝含量,可以精确调控合金的磁导率、矫顽力等磁学参数,满足不同磁性应用需求。
良好的机械性能与热稳定性:合金兼具较高的强度和硬度,同时在高温下能保持结构稳定,不易变形。
出色的耐腐蚀性与抗氧化性:铝的加入在材料表面形成致密的氧化膜,显著提升了其在恶劣环境下的耐久性。
可控的电学性能:其电阻率可通过成分设计进行调节,适用于多种功能性薄膜。

铁铝合金靶材制备方法
原料准备:选用高纯度金属粉末(Fe、Al),纯度≥99.9%,粉末粒度通常在微米级。按比例混合 Fe、Al 粉末,在惰性气氛下球磨,确保均匀。
冷等静压(CIP):压力150–200 MPa,预成型坯体。
脱气:真空≤1×10-3 Pa,加热300–400℃,去除粉末吸附气体。
热压烧结(HP):在石墨模具中,温度 1000–1200℃、压力 20–50 MPa、保温 2–4 h,氩气保护。
热等静压(HIP):将包套密封的坯体放入高压釜,温度 1100–1200℃、压力 100–150 MPa、保温 3–5 h,致密度可达≥99%。
机加工:去除包套,数控加工至尺寸。
铁铝合金靶材应用领域
半导体与集成电路:铁铝合金靶材广泛应用于半导体器件的磁性薄膜制备
电子信息产业:平板显示器导电层,薄膜太阳能电池电极,数据存储设备
航空航天与国防:航空发动机高温防护涂层,燃气轮机叶片涂层,核反应堆部件
科研与高端制造:激光驱动状态方程实验中的阻抗匹配靶,高精度测量仪器,精密电阻元件
铁铝合金靶材作为兼具耐热、耐腐蚀、高稳定性的高性能合金材料,是半导体、航空航天、新能源等高端领域不可或缺的核心耗材。选择适配的制备工艺、严格把控质量指标,是保障薄膜质量与生产效率的关键。随着国产技术突破与市场需求增长,铁铝合金靶材将持续赋能高端制造升级,成为新材料产业的重要增长点。
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