高纯3N（99.9%）铝钪合金靶材，价格以当日报价为准，需联系销售报价！！！
元素 ： AlSc
纯度 ： 3N
形状 ： 板 平面靶材
包装 ： 真空包装、纸箱、木箱
所有订单均提供正式发票，另外依据客户需要提供正式报价单和合同
市场参考价格：¥3850.00/Pc左右，价格仅供参考，如有需要，请咨询报价，以当日报价为准！
产品名称： 铝钪 （ AlSc 70/30wt% ）合金靶材
纯度：3N
尺寸： D50.8x4mm 或者 按图纸定制
铝钪合金靶材的组成主要是由铝、稀土和钪组成。铝作为基体元素，具有出色的力学性能和良好的导电性。稀土和钪则可以提高合金的力学性能和硬度。稀土铝钪合金靶材具有许多优异性能。首先，它的硬度非常高，可以轻松地达到维氏硬度0.8以下。其次，这种合金具有很好的耐腐蚀性，可以在高温、高压的环境下保持稳定的性能。此外，稀土铝钪合金靶材还具有很好的耐高温性，可以承受温度高达2000摄氏度的环境。
铝钪合金靶材性能特点
高纯度与精密成分控制：用于高端应用的靶材纯度通常≥99.99%，钪含量可实现精密调控（例如±0.05at.%的精度），以确保薄膜性能的一致性。
卓越的微观结构：通过先进工艺（如真空悬浮区域精炼）制备，可形成尺寸在5-20nm的亚纳米级Al₃Sc析出相，密度极高（>10¹⁸/m³），这是其性能提升的关键。
超低杂质含量：电活性杂质被严格控制在极低水平（如氧含量≤200ppm，铁<0.1ppm），这对于保证半导体器件的电学性能至关重要。
优异的物理性能：具备高致密度（>99.95%）和单晶级取向精度（(111)面织构度>98%），有助于在溅射过程中获得高质量的薄膜。
铝钪合金靶材制备方法
熔炼，将铝原料和钪原料通过冷坩埚悬浮熔炼，得到铝钪合金铸锭，具体为：以钪原料和铝原料作为反应原料，首先将钪原料通过冷坩埚悬浮进行熔炼，得到钪熔体，再将铝原料分批次添加到钪熔体中熔炼，得到铝钪合金熔体。
将所述铝钪合金铸锭置于真空坩埚炉内，升温使铸锭熔融成为铝钪合金液，具体为：将所述铝钪合金铸锭置于真空坩埚内，将坩埚内的铸锭进行升温至1450～1650℃，升温的持续时间为25～35min，使坩埚内的铸锭熔融成为铝钪合金液后保温5～20min。
所述铝钪合金液进行雾化后得到铝钪合金粉末，具体为：将所述铝钪合金液通过雾化喷嘴流出与高速流动的气体相遇，雾化成为细小液滴，液滴在封闭的雾化室内凝固成铝钪合金粉末。
所述铝钪合金粉末进行烧结后得到铝钪合金靶坯，具体为：将所述铝钪合金粉末置于石墨模具中，再将石墨模具置于热压烧结炉内，升温升压至温度为950～1150℃、压力为20～40mpa，然后进行100～240min的恒温恒压，恒温恒压结束后撤去压力，使铝钪合金粉末冷却后得到铝钪合金粉末靶坯。
机加工，将烧结完成的模具取出，脱模，加工，即得到铝钪合金靶材，经测试靶材相对密度达到99％以上。
铝钪合金靶材主要应用领域
1.航空航天领域：铝钪合金具有高强度、低密度和高耐腐蚀性，因此广泛应用于航空航天工业，包括飞机和火箭的结构部件、发动机零件、航天器等。
2.汽车制造领域：铝钪合金可以用于汽车车身、底盘、发动机等部件的制造，提高汽车的性能、减轻汽车重量，并提高燃料效率。
3.建筑材料领域：铝钪合金可以用于制造高性能的建筑材料，如门窗、幕墙、梁柱、支架等，提高建筑物的强度、抗震性能和耐久性。
4.体育器材领域：铝钪合金的高强度、低密度和耐磨性使其成为制造体育器材的理想材料，如高尔夫球杆、棒球杆、滑雪板等。
5.电子和通讯领域：铝钪合金可以用于制造电子和通讯设备的外壳、内部结构以及一些高性能零件，如散热器、芯片载体等。
6.能源领域：铝钪合金可以用于制造太阳能电池板和风力发电设备等能源设备，提高设备的性能和使用寿命。
