金属溅射靶材
发布时间：2021-11-06 作者：长沙鑫康科研材料服务平台 阅读量：575
溅射靶材主要由靶坯、背板等部分构成，其中，靶坯是高速离子束流轰击的目标材料，属于溅射靶材的核心部分，在溅射镀膜过程中，靶坯被离子撞击后，其表面原子被溅射飞散出来并沉积于基板上制成电子薄膜；由于高纯度金属强度较低，而溅射靶材需要安装在用的机台内完成溅射过程，机台内部为高电压、高真空环境，因此，超高纯金属的溅射靶坯需要与背板通过不同的焊接工艺进行接合，背板起到主要起到固定溅射靶材的作用，且需要具备良好的导电、导热性能。
金属溅射靶材市场应用
当今常用的许多产品都有通过溅射靶材形成的涂层。这些涂层包括：
半导体
大多数现代电子产品都包含使用钽溅射靶材生产的基本组件。其中包括微芯片、存储芯片、打印头、平板显示器等。
玻璃镀膜
溅射靶材用于生产低辐射镀膜玻璃（也称为 Low-E 玻璃），因其节能、控制光线和美观的能力而常用于建筑施工。
太阳能电池涂层
对可再生能源的需求正在上升。第三代薄膜太阳能电池采用溅射镀膜技术制备。
鑫康提供的金属溅射靶材
| 品名 | 纯度 | 品名 | 纯度 |
| 银(Ag) | 3N5-5N | 铝(Al) | 4N-6N |
| 金(Au) | 4N-5N | 砷(As) | 2N-4N |
| 硼(B)) | 2N-6N | 铍(Be) | 2N-3N |
| 铋(Bi) | 4N-5N | 石墨/碳(C) | 3N-5N |
| 钙(Ca) | 3N | 镉(Cd) | 4N-5N |
| 铈(Ce) | 3N-4N | 钴(Co) | 3N-4N |
| 铬(Cr) | 2N5-3N5 | 铜(Cu) | 3N5-6N |
| 镝(Dy) | 3N-4N | 铒(Er) | 3N-4N |
| 铕(Eu) | 3N-4N | 铁(Fe) | 3N-4N |
| 镓(Ga) | 5N-7N | 钆(Gd) | 3N-4N |
| 锗(Ge) | 5N | 铪(Hf) | 3N-4N |
| 钬(Ho) | 2N5-3N | 铟(In) | 4N-5N |
| 铱(Ir) | 3N5 | 镧(La) | 3N-4N |
| 锂(Li) | 3N | 镥(Lu) | 3N-4N |
| 镁(Mg) | 3N5-4N | 锰(Mn) | 3N-4N |
| 钼(Mo) | 3N5-4N | 铌(Nb) | 3N5-4N5 |
| 钕(Nd) | 2N5-3N5 | 镍(Ni) | 2N5-5N |
| 锇(Os) | 3N5 | 铅(Pb) | 4N |
| 钯(Pd) | 3N5 | 镨(Pr) | 2N5-3N |
| 铂(Pt) | 3N5-4N | 铼(Re) | 3N5 |
| 铑(Rh) | 3N5 | 钌(Ru) | 3N5 |
| 锑(Sb) | 3N5-5N | 钪(Sc) | 3N5 |
| 硒(Se) | 3N-5N | 硅(Si) | 5N-7N |
| 钐(Sm) | 3N5 | 锡(Sn) | 3N5-5N |
| 锶(Sr) | 3N | 钽(Ta) | 3N5-4N |
| 铽(Tb) | 3N5 | 碲(Te) | 4N-6N |
| 钛(Ti) | 2N5-5N | 铥(Tm) | 2N5-3N5 |
| 钒(V) | 3N5-4N | 钨(W) | 3N5-5N |
| 钇(Y) | 3N5 | 镱(Yb) | 3N5 |
| 锌(Zn) | 3N5-5N | 锆(Zr) | 2N5-3N5 |
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