陶瓷溅射靶材
发布时间：2021-11-06 作者：长沙鑫康科研材料服务平台 阅读量：838
陶瓷靶材从字面上我们就可以知道它是比较脆的靶材，通常陶瓷靶材都会绑定背板一起使用。背板除了在溅射过程中可支撑陶瓷靶材，还可以在溅射过程中起到热传递的作用。陶瓷靶材的种类很多，应用范围广泛，主要用于微电子领域，显示器用，存储等领域。 鑫康生产的陶瓷靶材现货充足，价格优，纯度高，货期短，质量有保障！
陶瓷靶材的种类
半导体关联陶瓷靶材、显示陶瓷靶材、磁记录陶瓷靶材、光记录陶瓷靶材、超导陶瓷靶材、巨磁电阻陶瓷靶材等.
陶瓷靶材的制备工艺
烘料 - 配料 - 球磨 - 干燥 - 煅烧 - 球磨 - 制坯 - 烧结 - 冷却 - 成品
陶瓷靶材的特性要求
我们生产的陶瓷靶材具有高纯度，高密度和成分与结构均匀
鑫康提供的陶瓷溅射靶材
| 氧化物 | |||
| 氧化铝(Al2O3) | 氧化镓(Ga2O3) | 氧化钼(MoO3) | 氧化钽 (Ta2O5) |
| 氧化锌铝(AZO) | 氧化镓锌(GZO) | 氧化铌(Nb2Ox) | 氧化铽(Tb4O7) |
| 氧化锡锑(ATO) | 氧化钆(Gd2O3) | 氧化镍(NiO) | 氧化铥(Tm2O3) |
| 氧化铋(Bi2O3) | 二氧化铪(HfO2) | 氧化钕(Nd2O3) | 二氧化钒(VO2) |
| 钛酸铋(BiTiO3) | 氧化钬(Ho2O3) | 氧化铅(PbO) | 三氧化二钒(V2O3) |
| 钛酸钡(BaTiO3) | 氧化铟(In2O3) | 锆钛酸铅(PZT) | 五氧化二钒(V2O5) |
| 氧化铈(CeO2) | 氧化铟锡(ITO) | 氧化镨(Pr6O11) | 三氧化钨(WO3) |
| 氧化铬(Cr2O3) | 氧化铟锌(IZO) | 一氧化硅(SiO) | 氧化钇(Y2O3) |
| 氧化钴(CoO) | 氧化铟镓锌(IGZO) | 二氧化硅(SiO2) | 氧化钇锆(YSZ) |
| 氧化铜(CuO) | 氧化镧(La2O3) | 氧化钐(Sm2O3) | 钇钡铜氧(YBCO) |
| 氧化亚铜(Cu2O) | 镧锶钴氧(LSCO) | 氧化钪(Sc2O3) | 氧化锌(ZnO) |
| 氧化铒(Er2O3) | 铝酸镧(LaAl2O3) | 钛酸锶(SrTiO3) | 氧化锆(ZrO2) |
| 氧化铕(Eu2O3) | 镍酸镧(LaNiO3) | 钌酸锶(SrRuO3) | 氧化锌锡(ZTO) |
| 三氧化二铁(Fe2O3) | 铁酸镧(LaFeO3) | 锰酸锶(SrMnO3) | |
| 四氧化三铁(Fe3O4) | 锰酸镧(LaMnO3) | 二氧化钛(TiO2) | |
| 氧化锡氟(FTO) | 氧化镁(MgO) | 五氧化三钛(Ti3O5) | |
| 氟化物 | |||
| 氟化铝(AlF3) | 氟化锂(LiF) | 冰晶(Na2AlF6) | 氟化镱(YbF3) |
| 氟化钡(BaF2) | 氟化镧(LaF3) | 氟化钾(KF) | 氟化钇(YF3) |
| 氟化钙(CaF2) | 氟化镁(MgF2) | 氟化镨(PrF3) | 氟化锌(ZnF3) |
| 氟化铈(CeF3) | 氟化钕(NdF3) | 氟化锶(SrF3) | |
| 氟化镝(DyF3) | 氟化钠(NaF) | 氟化钐(SmF3) | |
| 氮化物 | |||
| 氮化铝(AlN) | 氮化铌(NbN) | 氮化钛(TiN) | 氮化钽(TaN) |
| 氮化硼(BN) | 氮化硅(Si3N4) | 氮化钒(VN) | 氮化锆(ZrN) |
| 氮化铪(HfN) | |||
| 碳化物 | |||
| 碳化硼(B4C) | 碳化镍(NiC) | 碳氮化钛(TiCN) | 碳化锆(ZrC) |
| 碳化铪(HfC) | 碳化硅(SiC) | 碳化钨(WC) | |
| 碳化钼(MoC) | 碳化钽(TaC) | 碳化钨钴(WC+Co) | |
| 碳化铌(NbC) | 碳化钛(TiC) | 碳化钒(VC) | |
| 硼化物 | |||
| 二硼化铬(CrB2) | 硼化铁(FeB) | 硼化钽(TaB) | 二硼化钛(TiB2) |
| 二硼化铪(HfB2) | 六硼化镧(LaB6) | 二硼化锆(ZrB2) | |
| 硫化物 | |||
| 硫化镉(CdS) | 硫化铅(PbS) | 硫化铟(In2S3) | 硫化镁(MgS) |
| 硫化铜(CuS) | 硫化钼(MoS2) | 硫化钽(TaS) | 硫化锑(Sb2S3) |
| 硫化铈(Ce2S3) | 硫化锰(MnS) | 硫化钨(WS2) | |
| 硫化铁(FeS) | 硫化铌(NbS) | 硫化锌(ZnS) | |
| 硒化物 | |||
| 硒化铋(Bi2Se3) | 硒化铬(CrSe) | 硒化钼(MoSe2) | 硒化锗(GeSe2) |
| 硒化铜(Cu2Se) | 硒化铅(PbSe) | 硒化铟(In2Se3) | 硒化钨(WSe2) |
| 硒化镉(CdSe) | 硒化锑(Sb2Se3) | 硒化镓(Ga2Se3) | 硒化锡(SnSe) |
| 碲化物 | |||
| 碲化镉(CdTe) | 碲化铅(PbTe) | 碲化锗(GeTe) | 碲化锗锑(GST) |
| 碲化铋(Bi2Te3) | 三碲化二锑(Sb2Te3) | 三碲化七锑(Sb7Te3) | |
| 锑化物 | |||
| 锑化铝(AlSb) | 锑化铟(InSb) | 锑化镓(GaSb) | 锑化锌(ZnSb) |
| 多元化合物 | |||
| 氧化铟镓锌(IGZO) | 碳化钨钴(WC+Co) | 氧化锌锡(ZTO) | 氧化锡锑(ATO) |
| 镧锶钴氧(LSCO) | 碳化钨镍(WC+Ni) | 氧化钇锆(YSZ) | 铜锌锡硫(CZTS) |
| 钇钡铜氧(YBCO) | 氧化铟锡(ITO) | 钇钡铜氧(YBCO) | 铜锌锡硒硫(CZTSS) |
| 镧锶锰氧(LSMO) | 氧化铟锌(IZO) | 钇铁石榴石(YIG) | |
| 铁电/锂电池用材料 | |||
| 钴酸锂(LiCoO2) | 铝掺杂锰酸锂(LiMn2O4+Alx) | 钛酸铋BiTiO3 3N-5N | 镧钙锰氧(LCMO) |
| 富锂钴酸锂(Li(1+x)CoO2) | 磷酸锂(Li3PO4) | 氧化硼掺磷酸锂(Li3PO4:B2O3) | 钴酸锂(LiCo2O4) |
| 铝掺杂钴酸锂(AlLiCoO2) | 钛酸锶SrTiO3 3N-5N | 钛酸镧锂(Li0.35La0.57TiO3) | 钛酸锶钡(BaSrTiO3) |
| 锰酸锂(LiMn2O4) | 磷酸铁锂(LiFePO4) | 镧锆锂氧(LLZO) | 锆钛酸铅(PZT) |
| 钛酸钡(BaTiO3) | 钛酸锂(Li4Ti5O12) | 镧锶锰氧(LSMO) | |
| 锰镍酸锂(LiNi0.5Mn1.5O3) | 磷酸钛锂(LiTi2(PO4)3) | 铁酸铋(BiFeO3) | |
| 富锂锰酸锂(Li(1+x)Mn2O4) | 磷酸硅锂(LiSiPO4) | 镧锶钴氧(LSCO) | |
| ★ 各类铁电､压电､超导､压敏､陶瓷电容靶材均可定制 | |||
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