陶瓷靶材是指用于溅射镀膜工艺的陶瓷材料，陶瓷靶材的种类繁多，其主要分类如下：氧化物类、硅酸盐类、氮化物类、硼化物类、碳化物类、铝基陶瓷靶材、铜基陶瓷靶材、稀土元素陶瓷靶材等。
纯度: 3N
纯度: 3N,3N5
