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产品名称:
锆钛酸铅(PZT,化学式为Pb(Zr,Ti)O3) 靶材
纯度:3N
规格:
35x2mm 或者按照图纸定制生产
锆钛酸铅靶材是一种具有显著铁电性能的多功能材料,常用于磁控溅射技术,通过将靶材溅射到基底表面形成均匀致密的薄膜。
- 锆钛酸铅靶材生产工艺
- 固相法:将等物质的量的一氧化铅(PbO)和二氧化钛(TiO₂)一起放入球磨机进行粉碎并混合均匀,然后放入煅烧炉于 400℃左右煅烧数小时,将煅烧块研磨粉碎、酸洗除杂质,干燥后得到产品。这种方法工艺简单、成本低,但产品纯度相对较低、粒度较粗。
- 液相沉淀法:例如共沉淀法,将醋酸铅甲醇溶液和钛酸四丁酯无水乙醇溶液按等摩尔比加入到混合器进行充分混合,然后加热并在一定条件下加入过氧化氢溶液和氨水溶液,进行共沉淀反应。反应完成后经过滤、洗涤、干燥、研磨,后在适当温度下煅烧,可得到钛酸铅。该方法产品纯度高、粒度小。
- 溶胶 - 凝胶法:以无机钛盐等为原料,通过溶胶 - 凝胶过程制备前驱体,然后经过热处理得到钛酸铅。这种方法可以较好地控制材料的微观结构和性能,但工艺相对复杂。
- 锆钛酸铅靶材应用领域
- 电子陶瓷:钛酸铅是制造复合电子陶瓷的重要原料,如 BaTiO₃-PbTiO₃、PbZrO₃-PbTiO₃ 等。这些复合电子陶瓷在电容器、传感器、驱动器等电子器件中有着广泛的应用。钛酸铅的铁电性能可以为电子陶瓷提供较高的介电常数和压电性能。
- 光学领域:可用于制备光学薄膜,在光学镜片、镜头等光学元件的镀膜中起到特定的光学作用,例如增加反射率、改变折射率等。
- 半导体制造:在半导体制造过程中,钛酸铅靶材可通过溅射等技术在半导体基底上沉积薄膜,用于制备各种功能性的半导体器件结构,如绝缘层、电极层等。